Tiền thân là Cục Vật lý Địa chất được thành lập trên cơ sở sát nhập Phòng Địa vật lý - Vụ Kỹ thuật với Đoàn 55 thuộc Tổng cục Địa chất theo Quyết định 141/CP ngày 1/9/1967 của Hội đồng Chính phủ. Khi đó Cục Vật lý Địa chất là đơn vị trực thuộc Tổng cục Địa chất, vừa đảm nhận chức năng chỉ đạo kỹ thuật địa vật lý toàn ngành, vừa triển khai thực hiện một số nhiệm vụ điều tra địa chất, tìm kiếm khoáng sản bằng các phương pháp địa vật lý.

Lễ dón nhận huân chương

Năm 1977, Cục Vật lý Địa chất được đổi tên thành Liên đoàn Vật lý Địa chất theo Quyết định số 27/QĐ-TC,